三星电子和海力士正将“替代日本氟化氢”提上日程

时间:2019-12-14 16:40       来源: 体育网

  据韩媒BusinessKorea报导,三星电子部分半导体制程中,已将日制氟化氢的替代品投入部分制程中。
  三星电子在通过引进大陆、台湾的原料,并制成半导体制程用材料,并在上个月中旬开始投入部分制程。据业界人士透露,三星电子依照测试完成产品顺序,量产后投入制程。
  日本自7月加强对韩出口限制,氟化氢、氟化聚酰亚胺、光刻胶皆被列入出口管制类别,导致三星电子未来引进Stella Chemifa、森田化学等日本企业的产品恐受阻,因此三星电子携手韩国企业SoulBrain、ENF TECHNOLOGY,合力制造替代品。
  过去这两家企业主要从日本Stella Chemifa、森田化学进口氟化氢,提炼蚀刻液体后,再交予三星电子,因此拥有一定的技术能力。
  三星电子发言人表示,“我们正在开始在公司一些制造工艺和产品中使用非日本产的氟化氢,因为使用化合物即将从不太敏感的工艺演变到更敏感的工艺阶段。”
  另一家韩国企业SK海力士也正在加快自制氟化氢的脚步。报道指出,SK海力士取得相当数量的替代材料。过去提供SK海力士氟化氢的韩国企业RAM TECHNOLOGY表示,其已提供SK海力士数百吨的原料。
  业界人士预测,到月底韩国将制造完一批氟化氢,且能够替代日制产品,未来SoulBrain工厂扩建完工后,将能提供更多氟化氢给三星电子、SK海力士。